热式流量计制造技术

技术编号:9298914 阅读:104 留言:0更新日期:2013-10-31 02:18
本发明专利技术提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理,从而提高传感元件的灵敏度,并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计,具有:形成于半导体基板的空洞部;以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部;和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体,其中,在形成上述薄膜部后,进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:中野洋松本昌大浅野哲半泽惠二
申请(专利权)人:日立汽车系统株式会社
类型:
国别省市:

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