热式流量计制造技术

本发明专利技术提供一种减少水滴向测量元件的附着，并能进行高精度的计测的热式流量计。该热式流量计，通过在基板表面一侧形成了发热电阻、测温电阻的测量元件（１）来测量流量，其中，设置与测量元件（１）的表面相对置的对面壁（３），设置从对面壁（３）向测量元件（１）一侧突出的外伸板部（５），在外伸板部（５）的顶端和测量元件（１）之间设置间隙（６），外伸板部（５）从测量元件（１）的上游延伸到下游。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在被计测流体中设置发热电阻来测量流量的热式流量计， 特别是涉及汽车的内燃机的吸入空气流量和排气流量的测量。
技术介绍
作为检测汽车等的内燃机的吸入空气量的流量传感器，能直接测量质 量流量的热式的空气流量传感器成为主流。在近年，提出了在硅(Si)等半导体基板上，使用微机械(micro machine) 技术，制造热式流量计的传感器元件。这样的半导体类型的热式流量计在 半导体基板上形成的数微米的薄膜部形成发热电阻。因为是薄膜，所以热 容量小、高速响应，低耗电是可能的。此外，通过微细加工，容易形成检 测发热电阻的上下游的温度差，并判别顺流 逆流的构造。作为所述类型的热式流量计的以往技术，有专利文献l中记载的技术。特幵2000-146652号公报例如，在检测汽车用内燃机的吸入空气流量时，混入吸入空气中的水 滴附着到流量检测元件上，并发生测量误差。特别是半导体类型的热式流 量计的时候，检测部是薄膜，所以热容量小，如果水滴附着到发热部，则 薄膜部的温度就急剧下降，有可能无法进行流量的测量。此外，由于水滴 的附着，薄膜部急剧冷却，测量元件有可能被破坏。在以往技术中，与传感器元件一体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热式流量计，在流体通路内配置在基板表面一侧形成了发热电阻和测温电阻的测量元件，来测量流量，其特征在于：　设置从与所述测量元件的表面相对置的流体通路的壁面向所述测量元件一侧突出的外伸板部，在所述外伸板部的突出方向的顶端部与所述测量元 件之间设置间隙，并将所述外伸板部从所述测量元件的上游延伸到下游。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中野洋，松本昌大，半泽惠二，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]