【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种刻蚀电极机中的下电极装置，包括承载盘（1）、支撑座（2），其特征在于：所述的支撑座（2）上面设置有承载盘（1），承载盘（1）与支撑座（2）按对应位置焊接为一体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：游利，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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