【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种陶瓷侧气体喷射器，其中该陶瓷侧气体喷射器配置成安装在8个对称排列的气体喷射器安装孔中的任何一个里，该安装孔位于能加工半导体衬底的等离子体反应室的室顶界面侧壁上，该侧气体喷射器由上游部分直径大于下游部分的阶梯式圆柱形陶瓷本体以及通过该陶瓷本体的轴端表面沿轴向延伸的直径均一的中心孔组成。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔·阿瑟·布朗，杰夫·A·博加特，伊恩·J·肯沃西，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：实用新型
国别省市：
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