【技术实现步骤摘要】
本技术涉及陶瓷毛细管放电技术。
技术介绍
毛细管放电Z箍缩极紫外光技术(DPP技术)基本工作原理就是在直径为3mm-6mm的陶瓷毛细管两端加上大电流(>10KA)快脉冲(<120ns)放电,在工作气体氙(Xe)上产生强电磁场,使工作介质电离,在管壁附近首先形成等离子体,在劳伦兹力作用下等离子体向轴心运动,称为Z箍缩。在箍缩同时产生欧姆加热,产生高温,从而使工作介质气体产生高价电离。离子复合过程产生极紫外光辐射,对Xe介质,Xe十价离子可以产生13.5nm极紫外光,所以技术的核心是毛细管在大电流快脉冲时放电。在结构上,加工出的陶瓷毛细管需放置在一个座上,放置在放电室中,并在毛细管两端加装电极。陶瓷毛细管放置在管座上的安置技术有很大的意义,如何做到紧密配合是研究的重点,通过大量实验发现,经常在工作中有打穿现象,即在毛细管管壁与管座间某一极小区域内产生打火,而在毛细管管壁上烧出一微小的孔,孔内有碳化现象,存在这一小损伤的情况下在大电流快脉冲放电时,便形成了一个旁路通道,使毛细管内放电电流大大衰减,造成工作失常。为此陶瓷毛细管与管座之间耦合,便是正常工作的一个极大的瓶颈。
技术实现思路
本技术是为了解决陶瓷毛细管与管座不能紧密配合造成工作失常的问题,从而提供陶瓷毛细管放电装置。本技术所述的陶瓷毛细管放电装置,包括陶瓷毛细管和两个管座,两个管座的结构相同,管座为圆筒,圆筒的一端同时设有边沿和嵌固在圆筒内的圆板,陶瓷毛细管的两端均通过圆板中心的小孔固定在管座上,陶瓷毛细管与小孔之间的空隙充满702胶。陶瓷毛细管与管座接触表面加工上要求表面粗糙度要低,但是陶瓷毛细 ...
【技术保护点】
陶瓷毛细管放电装置,其特征在于,包括陶瓷毛细管(1)和两个管座(2),两个管座(2)的结构相同,管座(2)为圆筒,圆筒的一端同时设有边沿和嵌固在圆筒内的圆板,陶瓷毛细管(1)的两端均通过圆板中心的小孔固定在管座(2)上,陶瓷毛细管(1)与小孔之间的空隙充满702胶。
【技术特征摘要】
1.陶瓷毛细管放电装置,其特征在于,包括陶瓷毛细管(1)和两个管座(2),两个管座(2)的结构相同,管座(2)为圆筒,圆筒的一端同时设有边沿和嵌固在圆筒内的圆板,陶瓷毛细管(1)的两端均通过圆板中心的小孔固定在管座(2)上,陶瓷...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵永蓬,徐强,王骐,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:新型
国别省市:黑龙江;23
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。