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一种刻蚀电极机中的下电极装置，包括承载盘（1）、支撑座（2），所述的支撑座（2）上面设置有承载盘（1），承载盘（1）与支撑座（2）按对应位置焊接为一体。本发明结构简单，操作方便，具有对晶圆片吸附能力、有绝缘性，同时对刻蚀过程产生的热量有冷却...
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