【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于光刻设备的对准信号处理系统，其特征在于，包括：信号采集模块、级次分离模块以及信号处理模块，所述信号采集模块采集全部级次的光学信号并将其转换为光强数据，所述级次分离模块用于对离散的光强数据进行级次分离，提取出各级次光强数据，所述信号处理模块根据所述各级次光强数据获得对准位置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李运锋，朱正平，宋海军，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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