防尘薄膜组件制造技术

技术编号:9295232 阅读:147 留言:0更新日期:2013-10-30 23:55
本发明专利技术提供一种即使以强压力将防尘薄膜组件压在光掩模等上,框架和光掩模等也不接触,由此可以防止光掩模等上的受伤的防尘薄膜组件。该防尘薄膜组件,在其框架的一个端面上,贴附防尘薄膜,所述框架的另一个端面上设置粘着层,其特征在于:所述粘着层,含有粘着剂以及粒子状的空间剂,该空间剂的硬度为,A型硬度计测定值80以下,比所述粘着剂还硬。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种防尘薄膜组件,其为在框架的一个端面上,贴附防尘薄膜,在所述框架的另一个端面上设置粘着层,其特征在于:所述粘着层,含有粘着剂以及粒子状的空间剂,该空间剂的硬度为,A型硬度计测定值80以下,比所述粘着剂还硬。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:堀越淳
申请(专利权)人:信越化学工业株式会社
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1