一种半自动曝光机的对位机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种半自动曝光机的对位机构，包括底板，第一X轴马达设于底板一端，第一X轴马达通过第一联轴器与精密丝杆及螺母同心连接，第一转轴轴承座与精密研磨导轨连接，精密研磨导轨与底板可滑动式连接；底板另一端设有两轴联动板，第二X轴马达设于两轴联动板上，第二X轴马达通过第二联轴器与精密丝杆及螺母同心连接，精密轴承与第二转轴轴承座连接；Y轴马达设于底板中部，Y轴马达通过第三联轴器与精密研磨丝杆及螺母同心连接，Y轴导轨固定板与第二转轴轴承座通过精密研磨导轨连接；联动板下方设有膨胀气缸。本实用新型专利技术提供的装置克服了现有技术的不足，体积小，结构紧凑，对位精度高，效率高，且不对板面造成氧化或污染。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半自动曝光机的对位机构，其特征在于：包括底板（80），第一X轴马达（10）设于底板（80）一端，第一X轴马达（10）通过第一联轴器（12）与精密丝杆及螺母（40）同心连接，精密丝杆及螺母（40）与第一X轴导轨固定板（14）连接，第一X轴导轨固定板（14）、第一转轴轴承座（15）均与精密研磨导轨（60）连接，精密研磨导轨（60）与底板（80）可滑动式连接；精密轴承（50）连接第一转轴轴承座（15），转轴（16）连接精密轴承（50）、动板（17）；底板（80）另一端设有两轴联动板（24），第二X轴马达（20）设于两轴联动板（24）上，第二X轴马达（20）通过第二联轴器（22）与精密丝杆及螺母（...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：党振，
申请(专利权)人：上海飞为自动化系统有限公司，
类型：实用新型
国别省市：