表面等离子体共振芯片及应用该芯片的传感器制造技术

技术编号:9294805 阅读:172 留言:0更新日期:2013-10-30 23:41
本发明专利技术公开了一种表面等离子体共振芯片及应用该芯片的传感器。该表面等离子体共振芯片,包括:承载件;敏感膜,形成于承载件的一表面,其材料为金银合金。本发明专利技术采用金银合金敏感膜代替了以往广泛采用的纯金薄膜,其成本大大降低,灵敏度大幅提高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种表面等离子体共振芯片,包括:承载件;敏感膜,形成于所述承载件的一表面,其材料为金银合金。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:祁志美张喆逯丹凤柳倩
申请(专利权)人:中国科学院电子学研究所
类型:发明
国别省市:

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