基于表面等离子体的复合谐振腔红外光子吸收器件制造技术

技术编号:9169566 阅读:163 留言:0更新日期:2013-09-19 17:57
本发明专利技术公开了一种基于表面等离子体的复合谐振腔红外光子吸收器件,属于红外光子吸收技术领域,解决了现有技术中红外光子吸收器件在红外波段吸收率小,工作波段较窄的技术问题。本发明专利技术的红外光子吸收器件包括反射层;在所述反射层上形成的介质层;在所述介质层上形成的金属层,所述的金属层由周期性排列的微结构组成,微结构的尺寸和周期均为亚波长量级。本发明专利技术的复合谐振腔红外光子吸收器件对入射光的平均吸收率高达95%,且能够在较宽的波段内工作。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于表面等离子体的复合谐振腔红外光子吸收器件,包括:反射层;在所述反射层上形成的介质层;在所述介质层上形成的金属层;其特征在于,所述的金属层由周期排列的微结构组成,微结构的尺寸和周期都是亚波长量级。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:鱼卫星郝东亮王泰升梁秋群卢振武孙强
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
类型:发明
国别省市:

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