提供深度分辨图像的带电粒子显微镜制造技术
【技术实现步骤摘要】
提供深度分辨图像的带电粒子显微镜
本专利技术涉及带电粒子显微镜领域，并且尤其涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。
技术介绍
如贯穿本文所使用的，应当将以下术语理解为与下面的解释一致：-术语“带电粒子”包含电子或离子（一般为阳离子，诸如，例如镓离子或氦离子，虽然也可能是阴离子；正在讨论中的离子可以是带电原子或分子）。该术语还可以指例如质子。-术语“显微镜”是指用于生成一般太小而无法用人的裸眼以满意细节被看到的对象、特征或部件的放大图像的设备。除了具有成像功能之外，这样的设备还可以具有机械加工功能；例如，可以使用它来通过从样本中去除材料（“研磨“或“烧蚀”）或向样本添加材料（“沉积”）而局部地修改样本。所述成像功能和机械加工功能可以由相同类型的带电粒子提供，或者可以由不同类型的带电粒子提供；例如，聚焦离子束（FIB）显微镜可以采用（聚焦的）离子束以用于机械加工目的，以及采用电子束以用于成像目的（所谓的“双射束”显微镜或“FIB-SEM”），或者它可以利用相对较高能量的离子束执行机械加工，而利用相对较低能量的离子束执行成像。基于这种解释，诸如以下项的工具应被认为落在本...
【技术保护点】
一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：??将样本安置在样本保持器上；??使用粒子?光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；??使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：??包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；??使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度...
【技术特征摘要】
2012.04.05 EP 12163262.4;2013.01.30 EP 13153164.21.一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：-将样本安置在样本保持器上；-使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；-使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，其特征在于以下步骤：-包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子；-将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数，从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={（On，En）}；-使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积，并将其空间分解为结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk，由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述检测器装置被包含以同时地检查多个离散的能量值En，使得通过同时地获取测量结果集合M的组成数据对（On，En）而汇集测量结果集合M。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述检测器装置被包含以依次地检查多个离散的能量值En，使得通过依次地获取测量结果集合M的组成数据对（On，En）而汇集测量结果集合M。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其中，所述检测器装置包括选自包括以下各项的组的至少一个检测组件：-偏转场设备，其用于将具有混合能量的输入电子束转换成能量分辨的子束阵列；-选择电力网，其能够被供电至给定电势，从而充当用于在电力网处被引导的电子通量的高通滤波器；-多通道计数器，其采用其中电流被撞击在材料上的电子激励的半导体材料，由此，对这样测量的电流值进行分类和计数。5.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其中，所述电子选自包括反向散射电子、二次电子及其组合的组。6.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其中，所述去卷积是借助于选自包括以下各项的组的数学技术执行的：-最小偏差法；-最大熵法；-最大后验法；-线性去卷积法。7.根据权利要求6所述的方法，其中，测量...
【专利技术属性】
技术研发人员：F布格霍贝尔，EGT博施，P波托塞克，X朱格，BH利希，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：
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