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本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：将样本安置在样本保持器上；使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生相互作用，该相互作用导致从样本发出发射辐射；使用检测...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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