氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器及其制备方法，氧化锡-氧化锌复合空心微球利用模板法制备，气敏传感器件采用旁热式器件结构，以氧化铝陶瓷管为载体，陶瓷管内部有加热丝，外表面附有金电极，两端由铂金丝引出电极。在陶瓷管外部涂有氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏材料，焊接、封装后得到气敏传感器件。本发明专利技术的优点在于：利用比表面积大的金属氧化物微球做气敏材料，可大大增加材料表面的活性空位；提高气敏传感器的响应率和响应时间；本发明专利技术采的气敏传感器件制作简单、性能稳定、灵敏度高，在工作温度下对乙醇有很高的灵敏性，可用于乙醇的检测。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氧化锡?氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将有机物模板溶于有机溶剂中，完全溶解后加入锌前驱体和0.5毫升至2.8?毫升的二乙醇胺，或三乙醇胺；然后在室温下至少搅拌3小时得到氧化锌前驱体溶液；（2）按锡前驱体和锌前驱体摩尔比1:10～1:1称取锡前驱体，置于锌前驱体溶液中，搅拌2～4小时，得到锡?锌复合前驱体溶液；（3）将前驱体溶液置于反应釜中，于80～200℃反应12小时至24小时；（4）待反应釜温度降至室温，将乳白色悬浮液用酒精和水分别洗涤3～5次，得到氧化锡?氧化锌复合空心微球，将微球置于酒精或水中待用；（5）氧化铝陶瓷管用去离子水、丙酮、氯仿清洗干净，烘干备用；（6）将氧化锡?氧化锌复合空心微球的悬浮液均匀涂抹在步骤（4）的氧化铝陶瓷管上，将陶瓷管进行封装；（7）在100～300℃下电老化3～15天，制成氧化锡?氧化锌复合空心微球气敏传感器件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：葛美英，尹桂林，姜来新，何丹农，
申请(专利权)人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司，
类型：发明
国别省市：