基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器制造技术

基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器，涉及的是一种湿度检测的传感器，解决了目前在传感器与接口电路的双芯片式或多芯片集成时，普遍存在的传感器与电路芯片的PCB板级连接或外部连线造成的误差和噪声干扰。它包含带加热单元微型的微型碳纳米管湿度传感器和正弦波激励接口电路。本发明专利技术的所有电路都集成在一个芯片上，结构简单易于实现，尺寸小，集成度高；节省了芯片制作和封装的成本，基于交流激励的传感器的感湿灵敏度更高，输出信号稳定性好；以多孔碳纳米管薄膜作为湿敏层，传感器吸附水汽脱附容易，响应速度快，不仅能在高湿度环境下正常工作，而且便于信号检测。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器，其特征在于它包含带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器(2)和正弦波激励接口电路(1)；所述正弦波激励接口电路(1)为检测电阻式正弦波激励电路(19)或为检测电容式正弦波激励电路(20)；所述检测电阻式正弦波激励电路(19)由第一正弦波发生电路(8)、第一开关S1、第一前置放大电路(4)、第一相敏解调电路(5)、第一低通滤波电路?(6)、第一温度补偿电路(10)、第一比较器(9)、第一加法器电路(7)组成；所述开关S1为带控制端的标准CMOS对管开关；第一正弦波发生电路(8)的输出端分别与第一前置放大电路(4)的第一输入端、第一比较器(9)的正向输入...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓为，李拓，尹亮，付强，董长春，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：