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基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器制造技术
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下载基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器的技术资料
文档序号:9169649
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基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器,涉及的是一种湿度检测的传感器,解决了目前在传感器与接口电路的双芯片式或多芯片集成时,普遍存在的传感器与电路芯片的PCB板级连接或外部连线造成的误差和噪声干扰。它包含带加热单元微型的微型碳纳米管...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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