【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种超纯水制造装置，其特征在于，其具备：对将原水除浊后的前处理水进行储水的储水坑；1次纯水系统，该1次纯水系统具备具有反浸透膜装置和将前处理水中的离子成分除去的离子交换树脂装置、且可以分别独立地对所述前处理水进行处理的多个处理系列；以及2次纯水系统，该2次纯水系统将在1次纯水系统中处理后的1次纯水进行处理并供至使用点。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：饭山真充，松井恭则，小坂健吾，栗野翔太郎，
申请(专利权)人：野村微科学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。