液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法技术方案

本发明专利技术提供一种液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法。超纯水供给系统(10)具备：纯水槽(16)，所述纯水槽设置在比使用点(30)靠铅垂方向下方侧的位置；返回配管(32)，所述返回配管使超纯水从使用点(30)返回至纯水槽(16)；第一压力调整阀(40)，所述第一压力调整阀设置在返回配管(32)的第一位置(H1)处，并调整比第一位置(H1)靠上游侧的第一压力；第二压力调整阀(42)，所述第二压力调整阀设置在返回配管(32)的、比第一位置(H1)靠下游侧且靠铅垂方向下侧的第二位置(H2)处，并调整比第一位置(H1)靠下游侧且比第二位置(H2)靠上游侧的第二压力。的第二压力。的第二压力。

【技术实现步骤摘要】
液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年6月16日提交日本专利局的、申请号为2021
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100415的日本专利申请的优先权和权益，其全部内容通过引用结合在本申请中。


[0003]本公开涉及一种液体回收系统、液体供给系统以及压力调整方法。

技术介绍

[0004]在超纯水制造系统中，提出了如下的技术：将制造出的超纯水供给到使用点，并使在使用场所(以下称为使用点)未被使用的超纯水回流到纯水槽。在日本特开2019
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162569号公报中，使超纯水回流到纯水槽，并在将纯水从使用点送回到槽的返回配管内设置压力调整单元。而且，基于返回配管中的流量和返回压力，来控制压力调节阀等压力调整单元，抑制使用点处的压力偏离期望的压力。
[0005]一般来说，各种制造工厂的作为公用设施的纯水或超纯水制造装置等多数情况下设置在工厂的低楼层。另一方面，使用超纯水等的制造设备等大多设置在工厂的高楼层。因而，制造出的纯水或超纯水等通过泵施加压力而供给到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体回收系统，所述液体回收系统具备：槽，所述槽设置在比使用液体的使用点靠铅垂方向下方侧的位置，并贮存所述液体；配管，所述配管将所述使用点和所述槽连接，使所述液体从所述使用点返回至所述槽；第一压力调整部，所述第一压力调整部设置在所述配管的第一位置处，并调整比所述第一位置靠上游侧的第一压力；以及第二压力调整部，所述第二压力调整部设置在所述配管的、比所述第一位置靠下游侧且靠铅垂方向下侧的第二位置处，并调整比所述第一位置靠下游侧且比所述第二位置靠上游侧的第二压力。2.根据权利要求1所述的液体回收系统，其中，将所述第一位置设定于比所述配管的铅垂方向上的中央部靠上侧的位置，将所述第二位置设定于比所述中央部靠下侧的位置。3.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，其中，将所述第二位置设定于在铅垂方向上与所述槽的水位相同的高度、或者比所述槽的水位低的高度。4.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，其中，将所述第二位置设定于下游侧的压力恒常是正压的高度。5.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，其中，所述第一压力调整部调整所述第一压力，以使所述第一压力为预定的上游压。6.根据权利要求1或2所述的液体回收系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本克美，
申请(专利权)人：野村微科学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：