【技术实现步骤摘要】
本技术涉及精密分析测试领域,具体涉及一种超纯水pH离线测试装置。
技术介绍
随着超纯水技术在半导体行业的应用日益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高,超纯水pH作为水质重要指标一直备受重视。超纯水被称为世界上最强力的溶剂,溶解杂质的能力非常强,因此它绝对的纯度是不可能保持的,最微小的污染也会改变它的pH值。因超纯水性质的特殊性,目前大部分超纯水pH测试设备均为在线测试,其一旦脱离密封环境进行离线测试,容易受温度和空气中CO2的影响,导致pH测试结果与真实值相比有较大偏差。因此,现在亟需一种能准确进行超纯水离线pH测试的装置。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足,提供一种超纯水pH离线测试装置,该系统可以很好地解决现有设备无法完成pH离线测试的问题。为达到上述要求,本技术采取的技术方案是:提供一种超纯水pH离线测试装置,包括测试组件、恒温组件及空气隔绝组件;测试组件包括用于盛放待测样品的样品容器和用于测试待测样品pH值的pH电极;恒温组件包括保温溶液、用于盛放保温溶液的恒温容器及用于保持保温溶液恒温的恒温发生器,样品容器置于保温溶液中;空气隔绝组件包括设有排气口的上盖和用于产生难溶于超纯水的气体的气体发生器,上盖设置于样品容器开口处,pH电极穿过上盖插入样品容器中,气体发生器的出气口与样品容器连通。该超纯水pH离线测试装置具有的优点如下:通过设置恒温组件,可以减少因温度补偿导致的偏差,通过设置空气隔绝组件,可以减少测试过程中CO2不断混入导致的读数不稳定、测试终点无法准确判断等情况的发生,有效提高了超纯水pH测试的准确度,适用于超纯水pH的离 ...
【技术保护点】
一种超纯水pH离线测试装置,其特征在于,包括测试组件、恒温组件及空气隔绝组件;所述测试组件包括用于盛放待测样品的样品容器和用于测试待测样品pH值的pH电极;所述恒温组件包括保温溶液、用于盛放保温溶液的恒温容器及用于保持保温溶液恒温的恒温发生器,所述样品容器置于保温溶液中;所述空气隔绝组件包括设有排气口的上盖和用于产生难溶于超纯水的气体的气体发生器,所述上盖设置于样品容器开口处,所述气体发生器的出气口与样品容器连通。
【技术特征摘要】
1.一种超纯水pH离线测试装置,其特征在于,包括测试组件、恒温组件及空气隔绝组件;所述测试组件包括用于盛放待测样品的样品容器和用于测试待测样品pH值的pH电极;所述恒温组件包括保温溶液、用于盛放保温溶液的恒温容器及用于保持保温溶液恒温的恒温发生器,所述样品容器置于保温溶液中;所述空气隔绝组件包括设有排气口的上盖和用于产生难溶于超纯水的气体的气体发生器,所述上盖设置于样品容器开口处,所述气体发生器的出气口与样品容器连通。2.根据权利要求1所述的超纯水pH离线测试装置,其特征在于,所述恒温发生器包括温度感应器、升温装置、降温装置及控制升温装置和降温装置工作的控制器,所述控制器分别与温度感应器、升温装置及降温装置电连接,所述温度感应器设置于保温溶液中。3.根据权利要求2所述的超纯水pH离线测试装置,其特征在于,所述升...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱洪辉,
申请(专利权)人:成都海威华芯科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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