超纯水制造方法技术

（1）是从未图示的原水贮槽供给的原水（W）的前处理系统，通过该前处理系统（1）处理过的原水（W），在热交换器（2）被调整至规定的温度，然后，供给至第一生物处理装置（3），进一步地连接至第二生物处理装置（4）。然后，该第二生物处理装置（4），连接至菌体分离装置（5），通过这些的各种装置处理后，作为处理水（W1）供给至一次纯水装置。第二生物处理装置（4）的前级，设置有添加作为营养源的氮源、以及氧化剂（杀菌剂）的供给机构（7）。根据该超纯水制造方法，可高度除去原水中的尿素。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种通过一次纯水装置及二次纯水装置处理将含有有机物的原水进行生物处理而得到的处理水的，特别是涉及一种能够高度除去原水中的尿素的。
技术介绍
以往，从市政水、地下水、工业水等原水制造超纯水的超纯水制造装置，基本上由前处理装置、一次纯水制造装置和二次纯水制造装置构成。其中，前处理装置通过凝聚、浮上、过滤装置构成。一次纯水制造装置，例如通过作为两台装置的反渗透膜分离装置和混床式离子交换装置、或离子交换纯水装置和反渗透膜分离装置构成。另外，二次纯水制造装置，例如通过低压紫外线氧化装置、混床式离子交换装置和超滤膜分离装置构成。·对于如此的超纯水制造装置，增高了对提高其纯度的要求，并且与之相伴，要求除去总有机碳(TOC)成分。超纯水中的TOC成分之中，尤其尿素的除去有困难，TOC成分越降低，尿素的除去对TOC成分含量产生的影响越大。因此，在专利文献I 3中记载了，通过从供给于超纯水制造装置的水中除去尿素，来充分降低超纯水中的T0C。在专利文献I中公开了，在前处理装置中组装生物处理装置，用该生物处理装置分解尿素。另外，在专利文献2中公开了，在前处理装置中组装生物处理装置，向其中通入被处理水(工业水)和半导体清洗回收水的混合水,在该半导体清洗回收水中含有的有机物成为生物处理反应的碳源，使尿素的分解速度提高。予以说明的是，有时在该半导体清洗回收水中含有大量铵离子(NH4+)，其与尿素同样成为氮源，有时阻碍了尿素的分解。进而，在专利文献3中记载了，为了解决专利文献2的上述问题，将被处理水(工业水)和半导体清洗回收水分别进行生物处理，然后混合，通入一次纯水制造装置和二次纯水制造装置。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平6-63592号公报专利文献2:日本特开平6-233997号公报专利文献3:日本特开平7-313994号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，如专利文献2中记载的水处理方法所示，在被处理水中添加碳源时，虽然生物处理装置的尿素分解除去效率提高，但是生物处理装置内的菌体的增殖量增加，存在从该生物处理装置流出的菌体量增加的问题。这是，在专利文献2所记载的水处理方法中，推测其处理机理为，不是硝化菌，而是BOD同化细菌(从属营养细菌)在分解、同化有机物时将作为氮源的尿素和尿素衍生物分解并作为氨摄取，通过将作为氮源的尿素和尿素衍生物分解并作为氨摄取来除去尿素和尿素衍生物。因此，本专利技术人等，提出了通过在原水中添加氮源，然后，实施生物处理，由此，可在短时间内除去尿素至更低浓度的水处理方法以及超纯水(日本特愿2010-105151号等)。然而，在该方法中，通过硝化菌群的参与，尿素分解效率得到提高，因此，在原水的有机物浓度高的情形下，特别是易分解性的有机物浓度高时，BOD同化细菌(从属营养细菌)的增殖、活性增高，因此，硝化菌群的增殖、活性降低，尿素分解效率降低，有时难以获得尿素充分降低的超纯水。具体地，BOD同化细菌的增殖、活性提高，则作为营养源添加的氮源被BOD同化细菌利用，并且其他的原水中含有的磷或微量金属(矿物质成分等)等的营养源也被BOD同化细菌利用等，因此，硝化菌群的增殖、活性降低。本专利技术是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，提供超纯水的制造方法，该超纯水的制造方法能够将原水中的T0C、特别是尿素高度分解除去，能够制造更高纯度的超纯水。解决课题的方法为了解决上述课题，本专利技术提供一种，其通过纯水制造装置处理将含有有机物的原水进行生物处理而得到的处理水，其特征在于，前述生物处理由第一生物处理装置和第二生物处理装置构成，在前述第一生物处理装置的处理水中添加前述第二生物处理装置的营养源(专利技术I)。根据该专利技术(专利技术1)，首先，在第一生物处理装置中，通过除去原水中的有机物、特别是易分解性的有机物，消减供给至接下来的第二生物处理装置中的易分解性的有机物量，能够抑制BOD同化细菌的增殖、活性的提高。如此地，在抑制BOD同化细菌的增殖、活性的提高的同时，在第一生物处理装置的处理水中，添加第二生物处理装置的氨性氮源等的营养源，能够实施以硝化菌群作为主体的生物处理，能够获得高的尿素除去效率。另外，能够抑制在第二生物处理装置中的BOD同化细菌引起的营养源的消费，因此，也能够起到通过更少的营养源进行处理的效果。在上述专利技术(专利技术I)中，前述第一生物处理优选是具有负载生物的载体的固定床的生物处理装置(专利技术2)。另外，上述专利技术(专利技术I)中，前述第二生物处理优选是具有负载生物的载体的固定床的生 物处理装置(专利技术3)。根据该专利技术(专利技术2、3)，生物处理装置是通过负载生物的载体的固定床构成，因此，与流动床的情形相比，能够更加抑制菌体从生物处理装置的流出，处理效果高，并且，能够长期维持该效果。在上述专利技术(专利技术I 3)中，前述第二生物处理装置的营养源优选是氮源(专利技术4)。根据该专利技术(专利技术4)，氯化铵等的铵盐适于硝化菌群的活性化，另外，其添加、控制也容易，适于较低地维持尿素的浓度。专利技术的效果根据本专利技术的，通过纯水制造装置处理将含有有机物的原水进行生物处理而得到的处理水来制造超纯水时，前述生物处理由第一生物处理装置和第二生物处理装置构成，在前述第一生物处理装置的处理水中添加前述第二生物处理装置的营养源，因此，能够通过高的尿素除去效率制造超纯水。另外，能够抑制在第二生物处理装置中的BOD同化细菌引起的营养源的消费，因此，能够起到通过更少的营养源进行处理的效果。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式的中的生物处理装置的系统图。图2是表示利用前述实施方式的生物处理装置的能够实施的装置的系统图。具体实施例方式下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是表示实施本专利技术的的一个实施方式的水处理方法的生物处理装置的概要图。在图1中，I是从未图示的原水贮槽供给的原水W的前处理系统，通过该前处理系统I处理过的原水W，在热交换器2被调整至规定的温度后，供给至第一生物处理装置3，进一步地连接至第二生物处理装置4。然后，该第二生物处理装置4，连接至菌体分离装置5，通过这些的各种装置处理后，作为处理水Wl供给至一次纯水装置。在第一生物处理装置3的前级，设置有添加易分解性有机物、氧化剂和杀菌剂的第一供给机构6，并且，在第二生物处理装置4的前级，设置有添加作为营养源的氮源、及氧化剂(杀菌剂)的第二供给机构7。进而，在第二生物处理装置4的后级，设置有供给还原剂及黏泥控制剂的第三供给机构8。·此外，9是运送原水W等的配管。在如上述的构成的生物处理装置中，作为成为处理对象的原水W，能够使用地下水、河水、市政水、其他的工业用水、来自半导体制造工序的回收水等。原水(处理对象水)W中的尿素浓度适合为5 200 ii g/L、特别是5 100 ii g/L左右。另外，作为前处理系统1，适宜采用在超纯水的制造工序中的一般的前处理系统或与此相同的处理。具体地，能够使用由凝集、加压浮上、过滤等构成的处理系统。第一生物处理装置3是指进行通过生物学作用使污水等废水中的污浊物质分解、稳定化的处理的装置，区分为好氧性处理和厌氧性处理。一般，有机物通过生物处理在氧呼吸、硝酸呼吸、发酵过程等中被分解，形成气体，或被摄取到微生物的体内，作为污泥被除去。另外，也可以进行氮(硝化脱氮法)或磷(生物本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.10.18 JP 2010-2335301.一种超纯水制造方法，其通过纯水制造装置处理将含有有机物的原水进行生物处理而得到的处理水，其特征在于， 前述生物处理由第一生物处理装置和第二生物处理装置构成，在前述第一生物处理装置的处理水中添加前述第二生物处理装置的营养源。...

【专利技术属性】
技术研发人员：新井伸说，藤岛繁树，育野望，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：
国别省市：