柔性掩膜板制造技术

本实用新型专利技术公开一种柔性掩膜板，包括柔性基板，柔性基板上方依次设有粘结层、金属图形结构层和柔性封装层；柔性基板采用透明性柔性材料制成；柔性基板的材质为聚碳酸酯或聚二甲基硅氧烷；粘结层的材质为环氧树脂胶粘剂；金属图形结构层的材质为铝或铜；柔性封装层的材质为聚二甲基硅氧烷。本实用新型专利技术柔性掩膜板能够对曲面基底进行光刻加工，而且其可以自然吸附到基底上实现紧密接触，不需要进行传统的抽真空处理，这使得本实用新型专利技术的柔性掩膜板适宜于进行大面积基底的光刻加工。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性掩膜板，其特征在于，包括柔性基板（1），柔性基板（1）上方依次设有粘结层（2）、金属图形结构层（3）和柔性封装层（4）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶向东，蔡安江，阮小光，
申请(专利权)人：西安建筑科技大学，
类型：实用新型
国别省市：