【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板检测装置，适用于检测一容置载具中的多片基板是否出现破片，其中该些基板面对面地排列于该容置载具中，该基板检测装置包含：光发射器，用以产生一光束；多个反射镜单元，用以反射该光束，由此使该光束在该些基板之间的间隔中沿平行于该些基板的平面的方向传递；以及光接收器，用以根据是否接收到该光束产生一破片侦测输出。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：王觉葵，高易宏，孙其仁，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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