掺硼氧化锌薄膜的制备方法技术

技术编号:9236314 阅读:177 留言:0更新日期:2013-10-09 23:44
本发明专利技术涉及薄膜领域,公开了两种掺硼氧化锌薄膜的制备方法,主要包括以下步骤:将锌源、稳定剂和硼源混于有机溶剂中,制成凝胶,对所述凝胶进行涂膜与干燥处理,得到前驱体薄膜,对所述前驱体薄膜进行热处理,而后冷却,得到掺硼氧化锌薄膜。本发明专利技术的两种制备方法相比于现有的真空法,提高了原料的利用率,降低了生产成本,保证了薄膜质量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
掺硼氧化锌薄膜的制备方法,包括以下步骤:向锌源的有机溶液中加入稳定剂,升温至25?80℃后加入硼源,然后陈化处理,得到凝胶;或将锌源、稳定剂和硼源溶于有机溶剂中,配制混合物溶液,将所述混合物溶液蒸发回流,得到凝胶;其中,所述凝胶中硼原子与锌原子的摩尔比为0.2~1.0:100;对所述凝胶进行涂膜与干燥处理,得到前驱体薄膜;对所述前驱体薄膜进行热处理,冷却,得到掺硼氧化锌薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:徐东徐永清郭友沛
申请(专利权)人:深圳市亚太兴实业有限公司
类型:发明
国别省市:

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