【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于石墨烯量子点化学气相沉积合成碳纳米管的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:步骤1,将石墨烯量子点溶液滴加在硅片上,干燥后备用;步骤2,将硅片放入石英舟中;步骤3,将石英舟置于管式炉中石英管中间区域,关闭石英管两端阀门后开启冷却循环水;步骤4,开启真空泵,通入氩气净化干燥化学气相沉积炉,调节抽气量使压强稳定;步骤5,开启加热系统,氩气氛围下升温至650~900℃;步骤6,通入碳源,调节气体流量和抽气量,使石英管内压强保持稳定;步骤7,反应一段时间后,关闭加热系统,停止通入碳源和氢气,调节抽气量使压强稳定,待系统冷却至300℃以下后,停气,关闭化学气相沉积炉电源、真空泵电源和循环水系统;步骤8,系统冷却至室温后取出样品,硅片表面即得碳纳米管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杨志,刘芸,徐明瀚,胡南滔,张亚非,
申请(专利权)人:上海交通大学,
类型:发明
国别省市:
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