自动化物料传送系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
自动化物料传送系统
本专利技术涉及物料传输领域，具体涉及一种自动化物料传送系统。
技术介绍
随着半导体技术的发展，300mm的硅片已经取代200mm的硅片成为主流，每个装载了硅片的容器重量由原来的约4公斤变成了约9公斤。因此，如果借助于人力来在各个制造模块之间来进行传输的话，会导致效率比较低，同时还可能导致人员被伤害的危险。而由于可以有效提高厂房利用率、缩短产品的生产周期，自动化物料传输系统(AutomatedMaterialHandlingSystems，以下简称：AMHS)相对于人力化的物料传输来说，成为在300mm硅片制造过程中各个制造模块之间来进行输送硅片的主要纽带。图1为现有技术中为针对某一具体制造模块配置的自动化物料传输系统的结构示意图。如图1所示，该自动化物料传输系统主要包括：存储单元STOCKER101和升降机子系统102。其中，存储单元STOCKER101设有至少一个输入口111、至少一个输出口121，存储单元STOCKER801中放置有盒式容器103，在盒式容器103存放有物料(WorkInProduct，以下简称WIP)如硅片。升降机子系统1...
【技术保护点】
一种自动化物料输送系统，包括多层储物架，其特征在于，所述每一层储物架的结构包括：层物料出口和层物料进口，位于所述每一层储物架的末端；双层隔层结构，位于所述每一层储物架的底部或顶部；其中，所述隔层结构的上层结构构成所述当层储物架的底部，所述隔层结构的下层结构构成所述下一层储物架的顶部；可伸缩支架，位于所述隔层结构的下层结构的末端；所述可伸缩支架相对于所述隔层结构的下层结构可进行向前或向后滑移；可伸缩抓取装置，悬挂于所述可伸缩支架下方，用于抓取物料；层移动单元，位于所述隔层结构的上层结构的上表面，用于将所述每层储物架上的物料传送至所述层物料出口，或将进入所述层物料进口的物料传送...
【技术特征摘要】
1.一种自动化物料输送系统，包括多层储物架，其特征在于，所述每一层储物架的结构包括：层物料出口和层物料进口，位于所述每一层储物架的末端；双层隔层结构，位于所述每一层储物架的底部或顶部；其中，所述隔层结构的上层结构构成所述当层储物架的底部，所述隔层结构的下层结构构成所述下一层储物架的顶部；可伸缩支架，位于所述隔层结构的下层结构的末端；所述可伸缩支架相对于所述隔层结构的下层结构可进行向前或向后滑移；所述隔层结构的下层结构为滑槽结构，所述可伸缩支架的顶部卡在所述滑槽结构中且沿着所述滑槽结构移动，可伸缩支架为工字型结构，工字型结构的上部可以卡在滑槽结构中继续进行滑移；或者所述可伸缩支架为滑槽结构，所述隔层结构的下层结构底部卡在所述滑槽结构中且沿着所述滑槽结构移动，隔层结构的下层结构为“工”字型；可伸缩抓取装置，悬挂于所述可伸缩支架下方，用于抓取物料；层移动单元，位于所述隔层结构的上层结构的上表面，用于将所述每层储物架上的物料传送至所述层物料出口，或将进入所述层物料进口的物料传送至所述每层储物架的内部；其中，所述移动单元为传送带，在所述每层储物架的底部的两端分别设置有滑轮，用于带动所述传送带绕所述滑轮滚动；层控制单元，用于控制所述可伸缩支架的前后伸缩，和/或控制所述可伸缩抓取装置的伸缩和抓取所述物料。2.根据权利要求1所述的自动化物料输送系统，其特征在于，所述自动化物料输送系统还包括：层传送单元，所述层传送单元的传送面位于或高于所述隔层结构的上层结构的上表面所在平面上，所述层传送单元的底部位于或高于所述隔层结构上层结构的底部所在平面上。3.根据权利要求2所述的自动化物料输送系统，其特征在于，所述自动化物料输送系统还包括机台，所述机台上设置有可升降基座，以及位于所述可升降基座上的多个可伸缩机械手，用于夹取从不同层传送单元输送来的物料。4.根据权利要求1所述的自动化物料输送系统，其特征在于，所述自动化物料输送系统还包括层感应装置，所述层感应装置用于向所述层控制单元发送触发信号。5.根据权利要求2所述的自动化物料输送系统，其特征在于，所述层传送单元为滚筒式输送或传带式输送。6.根据权利要求5所述的自动化物料输送系统，其特征在于，所述层传送单元的轨迹为光滑曲线。7.根据权利要求2所述的自动化物料输送系统，其特征在于，所述层传送单元上设置有夹持装置。8.一种采用权利要求1-7任意一项所述的自动化物料输送系统进行物料传送的方法，其特征在于，包括物料送出和物料送进两个过程，所述物料送出过程和所述物料送进过程可...
【专利技术属性】
技术研发人员：李佳青，王毅博，戴文俊，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。