可透视静电吸板制造技术

本发明专利技术公开了一种可透视静电吸板，其主要是由可透视板体上直接形成蚀刻电路部，并再覆盖设置可透视绝缘覆膜层所构成，于该可透视板体及可透视绝缘覆膜层之间的蚀刻电路部导通高压电流，电荷无法导通释放的情况下产生静电，藉此静电吸附对象；本发明专利技术可透视板体本身可透视的特性能便于进行对合作业的检视，不仅能提高作业检视的方便性，更能降低对合精度不良的问题，提升产品良率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种可透视静电吸板，由一可透视板体、一可透视绝缘覆膜层及二电端口所构成，其特征在于：该可透视板体的一面上形成二蚀刻电路部，该可透视板体为可透视并绝缘的材质所制成；各该电端口电性连接各该蚀刻电路部；以及该可透视绝缘覆膜层覆盖设置于该可透视板体具有蚀刻电路部的一面上，并使该电端口外露。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林宏俊，苏文章，
申请(专利权)人：长毅技研股份有限公司，
类型：发明
国别省市：