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可透视静电吸板制造技术
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文档序号:9201294
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本发明公开了一种可透视静电吸板,其主要是由可透视板体上直接形成蚀刻电路部,并再覆盖设置可透视绝缘覆膜层所构成,于该可透视板体及可透视绝缘覆膜层之间的蚀刻电路部导通高压电流,电荷无法导通释放的情况下产生静电,藉此静电吸附对象;本发明可透视板体...
该专利属于长毅技研股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长毅技研股份有限公司授权不得商用。
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