【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种自旋微波振荡器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤A.在氧化铝模板上制备贯穿所述氧化铝模板正面和背面的通孔，并利用磁控溅射或电子束蒸发在所述氧化铝模板背面制作导电层；步骤B.采用三电极沉积系统在所述通孔内从下至上依次沉积底电极层、磁性多层膜、顶电极层；其中，所述磁性多层膜包括从下至上依次沉积的第一磁性层、非磁性隔离层、第二磁性层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：唐伟，曾中明，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：
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