下载自旋微波振荡器及其制备方法的技术资料

文档序号:9199674

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本发明提供一种自旋微波振荡器的制备方法,包括如下步骤:在氧化铝模板上制备贯穿所述氧化铝模板正面和背面的通孔,并利用磁控溅射或电子束蒸发在所述氧化铝模板背面制作导电层;采用三电极沉积系统在所述通孔内从下至上依次沉积底电极层、磁性多层膜、顶电极...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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