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高可靠性绝缘导热基板制造技术

技术编号:9199317 阅读:159 留言:0更新日期:2013-09-26 03:16
本发明专利技术涉及一种高可靠性绝缘导热基板,包括铝或铝合金基体,在所述基体上沉积有非晶态铝过渡层,在所述铝过渡层上通过PECVD方法沉积AlON绝缘导热陶瓷层,在所述绝缘导热陶瓷层上通过活性钎焊工艺将铜箔钎焊在绝缘导热陶瓷层上。本发明专利技术所述的高可靠性绝缘导热基板,不仅导热绝缘性良好,导热系数≥100W/mk;而且所述基板的各层之间粘结性良好,热应力低,可靠性良好;可以作为高集成度电子元器件的基板使用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高可靠性绝缘导热基板,包括铝或铝合金基体,其特征在于在所述基体上沉积有非晶态铝过渡层,在所述铝过渡层上通过PECVD方法沉积AlON绝缘导热陶瓷层,在所述绝缘导热陶瓷层上通过活性钎焊工艺将铜箔钎焊在绝缘导热陶瓷层上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:梁栌伊
申请(专利权)人:梁栌伊
类型:发明
国别省市:

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