一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统技术方案

一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出四路光信号至接收器，后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做三自由度线性相对运动时，系统可输出三个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度，且能够同时测量三个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，其特征在于：包括双频激光器（1）、光栅干涉仪（2）、测量光栅（3）、四个接收器（4）和电子信号处理部件（5）；光栅干涉仪（2）包括偏振分光镜（21）、参考光栅（22）、第一折光元件和第二折光元件；所述的参考光栅（22）、测量光栅（3）均采用二维反射型光栅；?双频激光器（1）出射双频正交偏振激光经光纤耦合入射至偏振分光镜（21）后分光，透射光为参考光，反射光为测量光；?所述参考光入射至参考光栅（22）后产生四束衍射反射参考光，四束参考光经第一折光元件后偏转形成四束平行参考光，四束平行参考光回射至偏振分光镜（21）后透射；?所述测量光入射至测量光栅（3）后产...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱煜，王磊杰，张鸣，刘召，成荣，杨开明，徐登峰，叶伟楠，张利，赵彦坡，秦慧超，田丽，张金，尹文生，穆海华，胡金春，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：