MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供一种MEMS麦克风，包括线路板、外壳、声孔单元和通道；声孔单元包括中心声孔和设置在中心声孔周边的至少两个边缘声孔，中心声孔和边缘声孔之间通过通道连通；中心声孔和通道设置在线路板上；在线路板上方设置有MEMS声电芯片，MEMS声电芯片为由至少两个以上的芯片组成的芯片整体或者为由至少两个以上的芯片单体组成，MEMS声电芯片的振膜背洞与边缘声孔连通。实现线路板上的声孔和通过先进到大的MEMS背洞，再进入另外的声孔的进声的效果。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种MEMS麦克风，包括线路板和外壳，其特征在于，还包括声孔单元和通道；所述声孔单元包括中心声孔和设置在所述中心声孔周边的至少两个边缘声孔，所述中心声孔和所述边缘声孔之间通过通道连通；所述中心声孔和所述通道设置在所述线路板上；在所述线路板上方设置有MEMS声电芯片，所述MEMS声电芯片为由至少两个以上的芯片组成的芯片整体或者为由至少两个以上的芯片单体组成；所述MEMS声电芯片的振膜背洞与所述边缘声孔连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡孟锦，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：