【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可防水汽的电容式微型麦克风,其特征在于,其包括:掺杂基板(1)、至少一防水绝缘层(3)、牺牲层(4)、振膜(5)及声腔(6),其中,在所述掺杂基板(1)上方淀积有所述至少一防水绝缘层(3)及所述牺牲层(4),在所述防水绝缘层(3)和牺牲层(4)上方,并在所述掺杂基板(1)的中心区淀积有所述振膜(5),所述振膜(5)与所述掺杂基板(1)之间通过移除所述牺牲层(4)后的空隙形成电容器,所述振膜(5)的下部设置所述声腔(6),所述声腔(6)从掺杂基板(1)上对应于设置所述振膜(5)的中心区域贯穿整个掺杂基板(1)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:万蔡辛,杨少军,
申请(专利权)人:北京卓锐微技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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