MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术涉及MEMS麦克风，包括：外壳；与外壳结合为一体的线路板，定义线路板与外壳相结合的一侧为线路板的内侧，其内侧罩设有MEMS芯片，该MEMS芯片的罩设区域内的线路板上设有至少两个第一声孔；线路板外侧对应第一声孔处设有第二声孔，第一声孔的孔径尺寸小于第二声孔的孔径尺寸；在第一声孔与第二声孔之间设有连通两者设为气流缓冲腔；使用时，气流通过第二声孔进入，然后经气流缓冲腔进行缓冲，通过第一声孔作用在MEMS芯片的膜片上，完成声电的转换，设有气流缓冲腔可以对较强气流进行缓冲，避免直接冲击MEMS芯片的膜片，起到了保护作用，有效的降低了MEMS芯片的损坏率，延长了MEMS麦克风的使用寿命。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括：外壳；与所述外壳结合为一体的线路板，定义所述线路板与所述外壳相结合的一侧为所述线路板的内侧，所述线路板的内侧罩设有MEMS芯片，其特征在于，在所述线路板的内侧上所述MEMS芯片的罩设区域内设有至少两个第一声孔；在所述线路板的外侧上对应所述第一声孔处设有第二声孔，所述第一声孔的孔径尺寸小于所述第二声孔的孔径尺寸；在所述第一声孔与所述第二声孔之间设有气流缓冲腔，所述气流缓冲腔连通所述第一声孔与所述第二声孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：庞胜利，刘诗婧，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：