【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种全自动丝网印刷机的吸盘装置,其特征在于,包括吸盘座(2),通过连接板(4)装在吸盘座(2)上的吸盘盒(5),该吸盘盒(5)上装有吸片板(6);所述吸盘盒(5)与吸片板(6)之间具有用于形成负压区(7)的空腔,所述吸片板(6)上开有多个用于吸附硅片的吸附孔(8);具有中空通道的所述吸盘座(2)和连接板(4)均与所述吸盘盒(5)的空腔连通;所述吸盘座(2)和连接板(4)上设有两路气体流道,其中一路为用于抽吸空腔内气体便于吸片的吸片气体流道,另一路为用于向空腔内供气便于吸片脱离吸片板(6)的脱片进气流道。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:佘鹏程,邓斌,万喜新,罗宏洋,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十八研究所,
类型:实用新型
国别省市:
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