【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种利用多个带电粒子束在衬底上描绘图案的描绘设备，所述描绘设备包括：带电粒子光学系统，被配置为将多个带电粒子束发射到衬底上；以及控制器，被配置为控制带电粒子光学系统的操作，其中控制器被配置为控制所述操作以便补偿基于衬底的表面的起伏的第一数据和多个带电粒子束中的每一个带电粒子束相对于带电粒子光学系统的轴的倾斜的第二数据而确定的图案的畸变。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：大石哲，村木真人，千德孝一，山口渉，稻秀树，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：
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