【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法，其特征在于所述方法采用如下系统进行测量：该系统包括Ⅰ号二维位置敏感传感器、Ⅰ号激光头、Ⅱ号二维位置敏感传感器、Ⅱ号激光头、Ⅰ号绝对直线光栅、Ⅱ号绝对直线光栅及信号处理系统；将所述Ⅰ号绝对直线光栅沿x向安装在L型线缆台上，L型线缆台在直线电机驱动下沿基台y向跟随平面电机动子运动；Ⅰ号绝对直线光栅读数头安装在L型线缆台的x向导轨上，并通过一柔性机构与平面电机动子连接，该柔性机构允许Ⅰ号绝对直线光栅读数头与平面电机动子在y向和θz向有微小的相对位移；将所述Ⅱ号绝对直线光栅沿y向安装在基台上，Ⅱ号绝对直线光栅读数头安装在直线电机动子上；将...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱煜，杨开明，李敏，张鸣，李鑫，蒋毅，刘召，余东东，
申请(专利权)人：清华大学，北京华卓精科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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