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一种动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法，该方法包括2个二维位置敏感传感器、2个绝对直线光栅和信号处理系统；根据2个二维位置敏感传感器的测量值和Ⅰ号绝对直线光栅的测量值求解平面电机动子在线缆台坐标系下的三自由度位移，再根据Ⅱ号绝对直线光栅...
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