基于TRIZ的光学干涉测量装置设计及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术专利公开了一种精密光学干涉测量装置及其技术进化路线，其装置的设计利用了TRIZ和光学干涉原理。由装置的激光器产生相干光束经过楔形体半透明半反射玻璃分成两个相干光束，其中一个相干光束经过四个反射镜起到增加干涉臂的有效长度，提高了测量精度，另一束经过相位调制器产生一个相位差，这个相位调制器与待测的物理量有关，然后两个相干光束经过楔形体半透明半反射玻璃输出两个干涉光束，由于相位差的产生，汇聚到一起的两束光发生干涉，输出的光强随着相位差变换而变化，这样通过光强的测量就能够获得相位差的值，进而获得待测物理量的值。在引力波探测、微纳米位移测量、光纤陀螺和光纤声纳探测等领域具有重要的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于TRIZ的精密光学干涉测量装置设计，其特征在于它包括:(1)激光器；（2）楔形体半透明半反射玻璃；（3）第一反射镜；（4）第二反射镜；（5）第三反射镜；（6）第四反射镜；（7）第五反射镜；（8）相位调节器；（9）光电二极管；（10）差分器；（11）相关器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴寿煜，张宇红，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：