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本发明专利公开了一种精密光学干涉测量装置及其技术进化路线，其装置的设计利用了TRIZ和光学干涉原理。由装置的激光器产生相干光束经过楔形体半透明半反射玻璃分成两个相干光束，其中一个相干光束经过四个反射镜起到增加干涉臂的有效长度，提高了测量精度...
该专利属于江南大学所有，仅供学习研究参考，未经过江南大学授权不得商用。

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