一种用于人工晶体生长的高温三维温场测量系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于人工晶体生长的高温三维温场测量系统，包括辐射遮挡板及依次相连的望远单元、共焦单元、成像单元、分光装置、光电探测器、信号放大装置、模数转换器、计算机及自动控制器，所述分光装置包括依次连接的分光滤光片和分光控制系统，其中分光滤光片为多组高信噪比单波长分光滤光片或波长渐变滤光片。采用本实用新型专利技术所述的高温三维温场测量系统，实现了非接触高温温度测量，能够精确无干扰地直接测量在高温下晶体熔融物的三维温度分布，为晶体生长炉加热元件，加热元件分布和温场的设计提供了实际数据；为人工晶体生长温度控制提供了基础；为人工晶体生长的成功率和良品率提供了工具。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于人工晶体生长的高温三维温场测量系统，其特征在于：包括辐射遮挡板（5）及依次相连的望远单元（6）、共焦单元（9）、成像单元（10）、分光装置、光电探测器（13）、信号放大装置、模数转换器（16）、计算机（17）及自动控制器（20）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：季泳，
申请(专利权)人：贵阳嘉瑜光电科技咨询中心，
类型：实用新型
国别省市：