一种双底垫片及一种MEMS传声器制造技术

技术编号:9115602 阅读:262 留言:0更新日期:2013-09-05 04:30
本发明专利技术公开了一种双底垫片,该双底垫片包括:第一垫片和第二垫片,第一垫片和第二垫片上设置有凹槽和不同大小的孔轨迹,第一垫片和第二垫片在粘贴时,凹槽保持不同方向,第一垫片和第二垫片的边缘用密封胶或锡膏粘贴在一起,使第一垫片和第二垫片固定连接,并形成四周密封的空腔。通过该双层垫片,当外界有较大冲击时,先通过第一垫片和第二垫片形成的空腔之后再到MEMS片腔体内,空腔有缓冲气流、过滤和阻尼的作用,当灰尘进入后,通过空腔可以进行过滤,达到有效保护MEMS片的目的,同时通过调整孔的大小和轨迹可以改善整体MEMS曲线。本发明专利技术还公开了一种MEMS传声器,该MEMS传声器具有所述双底垫片,有效的避免MEMS片受到较大冲击,增强MEMS传声器的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种双底垫片,其特征在于,包括:第一垫片13和第二垫片14,所述第一垫片13和所述第二垫片14上设置有凹槽18和不同大小的孔轨迹16和17,所述第一垫片13和所述第二垫片14在粘贴时,所述凹槽18保持不同方向,所述第一垫片13和所述第二垫片14的边缘用密封胶或锡膏15粘贴在一起,使所述第一垫片13和所述第二垫片14固定连接,并形成四周密封的空腔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:万景明
申请(专利权)人:山东共达电声股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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