多轴支撑气浮平台制造技术

多轴支撑气浮平台，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明专利技术为解决为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括承载平台，M条支撑腿、M个气浮筒和M个气足，M为3、4、5、6、7或8，承载平台为圆形平台，承载平台由M条支撑腿支撑，M条支撑腿与承载平台下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿的末端连接一个气浮筒，每个气浮筒的底端通过气浮球轴承连接一个气足。本发明专利技术作为一种支撑平台。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多轴支撑气浮平台，其特征在于，它包括承载平台(1)，M条支撑腿(2)、M个气浮筒(3)和M个气足(4)，M为3、4、5、6、7或8，所述承载平台(1)为圆形平台，承载平台(1)由M条支撑腿(2)支撑，M条支撑腿(2)与承载平台(1)下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿(2)的末端连接一个气浮筒(3)，每个气浮筒(3)的底端通过气浮球轴承连接一个气足(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈兴林，刘杨，李聪，刘川，王伟峰，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：