基板热处理设备制造技术

技术编号：9089276 阅读：144 留言：0更新日期：2013-08-29 02:38

本发明专利技术提供了如下基板热处理设备：该基板热处理设备能够在减少由于高温时的热膨胀引起的组成构件的破损的情况下高速、均匀地加热基板。本发明专利技术的一个实施方式为对基板进行热处理的基板热处理设备，并且包括：能够支撑基板的外周环（4）；连接环（6）；升降外周环（4）的升降装置（20）；导热率小于外周环（4）的导热率的球（12）；以及加热由外周环（4）支撑的基板的灯（11）。球（12）是不同于外周环（4）和连接环（6）两者的构件。升降装置（20）使外周环（4）在靠近灯（11）的第一位置和远离灯（11）的第二位置之间升降。