丝网印刷装置和丝网印刷方法制造方法及图纸

技术编号:9063600 阅读:152 留言:0更新日期:2013-08-22 02:34
本发明专利技术的目的在于提供一种丝网印刷装置和丝网印刷方法,从而使得在水平地移动成像单元的构造中,基板定位精度的品质在开始生产前的抽样检查中以及在继续生产过程中能够得到方便地确认,所述成像单元具有用于使基板和掩膜板作为成像对象成像的两个成像光轴。在执行目的是对于基板和掩膜定位的基准标记的位置检测的标记成像步骤之前,检测在水平方向上成像光轴之间的相对位置的光轴校准处理步骤和检测由成像单元的移动所引起的成像光轴的局部位置重合不良的表面校正数据准备处理步骤被执行,并且开始生产之前使用检验基板和掩膜的用于评估基板定位精度的生产前精度评估步骤和开始生产之后使用实际生产基板和掩膜的评估基板定位精度的生产后精度评估步骤被执行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:阿部成孝矢泽隆
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社
类型:
国别省市:

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