【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种太赫兹超材料单元结构,其特征在于,该太赫兹超材料单元结构由底层、中间介质层、表层三层组成,所述底层为一层连续金属膜;中间介质层为聚酰亚胺薄膜、氮化硅薄膜、氧化硅薄膜、非晶硅薄膜、氮氧化硅薄膜、氧化铝薄膜、氧化铪薄膜、氧化铝铪薄膜当中的一种;所述表层为表层谐振器,该表层谐振器为内部呈“工”字型、外围为“方框”的图形化金属。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:许向东,黄锐,蒋亚东,敖天宏,何琼,马春前,孙自强,温粤江,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:
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