【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于毫米波器件，具体涉及一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统。
技术介绍
1、回旋行波管作为一种工作在毫米波频段的大功率真空电子器件，它通常具有功率大、频带宽、增益高等一系列特点，在雷达、毫米波通信、电子对抗等领域都得到了广泛的应用。
2、在回旋行波管使用时，需要对超导磁体进行抽真空制冷。传统方法是通过人工手动对超导磁体进行抽真空制冷；整个过程只能通过人员观察判断进行操作，导致抽真空制冷时间加长，并增大了操作人员的工作强度。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统。
2、本专利技术采用的技术方案如下：
3、一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，包含抽真空控制模块、高真空电磁阀、涡旋式干泵、主泵、温度检测模块、真空度检测模块、氦气制冷机、皮拉尼真空计、流量传感器、电流互感器。
4、所述抽真空控制模块，在上位机的控制指令下进入工作模式，接收温度检测模块、真空度检测模块、皮拉尼真空计的实时监测数据并传输至上位机，同时根据实时监测数据控制氦气制冷机、高真空电磁阀、主泵、涡旋式干泵开启或关闭。
5、所述温度检测模块，用于实时监测超导磁体的内部温度并发送给抽真空控制模块。
6、所述真空度检测模块，用于实时监测超导磁体的内部真空度并发送给抽真空控制模块。
7、所述皮拉尼真空计，用于实时监测高真空电磁阀和主泵之间的管道真空度并发送给
8、所述氦气制冷机，用于利用氦气对超导磁体进行制冷。
9、所述高真空电磁阀，设置于超导磁体与主泵之间，用于打开和关闭抽真空管道。
10、所述涡旋式干泵，用于对超导磁体内部进行粗抽真空。
11、所述主泵，用于对超导磁体进行高抽真空。
12、进一步地，对超导磁体进行抽真空制冷的控制过程如下：
13、s1.设备自检：抽真空控制模块检测系统内各设备是否在线，并检测系统供电电压及其相序是否正确；若自检结果符合要求则进行步骤s2，否则发送报警信号至上位机。
14、s2.控制高真空电磁阀、涡旋式干泵开启，对超导磁体进行粗抽真空。
15、s3.当接收到管道真空度达到第一设定值时，抽真空控制模块控制主泵开启，对超导磁体进行高抽真空。
16、s4.当接收到内部真空度达到第二设定值时，抽真空控制模块控制氦气制冷机开启，对超导磁体进行制冷。
17、s5.当超导磁体的内部温度和内部真空度均达到设定值时，超导磁体达到超导状态，抽真空控制模块依次控制高真空电磁阀、主泵、涡旋式干泵关闭，氦气制冷机继续运行，维持超导状态。
18、进一步地，所述第一设定值的取值范围为0.01pa~0.03pa；所述第二设定值为1.0×10-4pa。
19、进一步地，所述抽真空制冷系统还设置有流量传感器；所述流量传感器，用于实时监测氦气制冷机的冷却液流量并发送给抽真空控制模块；当所述抽真空控制模块接收到冷却液流量低于流量设定值，则控制氦气制冷机关闭并发送氦气制冷机报警信号至上位机。
20、进一步地，所述抽真空制冷系统还设置有电流互感器；所述电流互感器，用于实时监测涡旋式干泵工作电流是否在设定范围内，若超出设定范围，则发送涡旋式干泵报警信号至抽真空控制模块和上位机，抽真空控制模块控制涡旋式干泵、主泵、高真空电磁阀关闭。
21、进一步地，所述主泵设置为软起动模式，逐步提升转速，以延长主泵的使用寿命。
22、进一步地，所述抽真空控制模块中还设置有存储模块，用于存储实时监测数据。
23、进一步地，所述抽真空控制模块采用mcu单片机实现。
24、本专利技术与现有技术相比具有如下优点：
25、1.本专利技术能够直接通过上位机自动对超导磁体进行抽真空制冷，当超导磁体温度达到超导状态时，自动关闭高真空电磁阀、主泵、涡旋式干泵，保留氦气制冷机继续工作，维持超导磁体的超导状态。同时，当某一设备发生故障时，也能快速关闭相应设备，并通过报警信号确定故障设备。
26、2.本专利技术通过抽真空控制模块对超导磁体工作状态进行实时监测并存储实时监测数据，以便上位机后期读取历史数据。
27、3.本专利技术系统在自动抽真空制冷过程中，无需人工干预，极大的降低了人工需求，并缩短了整体抽真空制冷时间。
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1.一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，包含抽真空控制模块、高真空电磁阀、涡旋式干泵、主泵、温度检测模块、真空度检测模块、氦气制冷机、皮拉尼真空计；
2.如权利要求1所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，对超导磁体进行抽真空制冷的控制过程如下：
3.如权利要求2所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，所述第一设定值的取值范围为0.01Pa~0.03Pa；所述第二设定值为1.0×10-4Pa。
4.如权利要求2所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，所述抽真空制冷系统还设置有流量传感器；所述流量传感器，用于实时监测氦气制冷机的冷却液流量并发送给抽真空控制模块；当所述抽真空控制模块接收到冷却液流量低于流量设定值，则控制氦气制冷机关闭并发送氦气制冷机报警信号至上位机。
5.如权利要求1所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，所述抽真空制冷系统还设置有电流互感器；所述电流互感器，用于实时监测涡旋式干泵工作电流是否在设定范围内，若超出
6.如权利要求1所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，所述主泵设置为软起动模式。
7.如权利要求1所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，所述抽真空控制模块中还设置有存储模块，用于存储实时监测数据。
8.如权利要求1所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，所述抽真空控制模块采用MCU单片机实现。
...【技术特征摘要】
1.一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，包含抽真空控制模块、高真空电磁阀、涡旋式干泵、主泵、温度检测模块、真空度检测模块、氦气制冷机、皮拉尼真空计；
2.如权利要求1所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，对超导磁体进行抽真空制冷的控制过程如下：
3.如权利要求2所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，所述第一设定值的取值范围为0.01pa~0.03pa；所述第二设定值为1.0×10-4pa。
4.如权利要求2所述的一种用于回旋行波管功率模块的抽真空制冷系统，其特征在于，所述抽真空制冷系统还设置有流量传感器；所述流量传感器，用于实时监测氦气制冷机的冷却液流量并发送给抽真空控制模块；当所述抽真空控制模块接收到冷却液流量低于流量设定值，则控制氦气制冷机...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕洪光，李昊，周二建，熊佼佼，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
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