11.4～12.5μm透过长波红外滤光片及制备方法技术

本发明专利技术涉及11.4～12.5μm透过长波红外滤光片及制备方法，属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底和长、短波通膜系；长波通膜系结构为（0.5hl0.5h）^9（0.574l1.148h0.574l）^5（0.36h0.72l0.36h）^5，中心波长8100nm；短波通膜结构为（lh）^8，中心波长16200nm；l和h分别为硫化锌和碲化铅膜层；通过真空中加热基底，离子源通氩气下电阻蒸发在基底两侧沉积长、短波通膜系，冷却后制得。该滤光片在11.4～12.5μm透过率高，0.9～11.25μm和12.65～20μm宽截止，膜系层数较少，满足遥感探测系统使用要求；该方法简便稳定，成品率高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种11.4～12.5μm透过长波红外滤光片，其特征在于：所述滤光片包括锗基底、基底一侧的长波通膜系和基底另一侧的短波通膜系；长波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：（0.5hl0.5h）^9（0.574l1.148h0.574l）^5（0.36h0.72l0.36h）^5，中心波长为8100nm；h为碲化铅膜层，0.5h表示碲化铅膜层厚度为0.5个基本厚度，1.148h表示碲化铅膜层厚度为1.148个基本厚度，0.36h表示碲化铅膜层厚度为0.36个基本厚度，l为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，0.574l表示硫化锌膜层厚度为0.574个基本厚度，0.72l表示硫化锌膜层厚度为0.72个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，基本膜堆（0.5hl0.5h）的周期数为9，基本膜堆（0.574l1.148h0.574l）和基本膜堆（0.36h0.72l0.36h）的周期数均为5；短波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：（lh）^8，中心波长为16200nm；l为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，h为碲化铅膜层，表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，基本膜堆（lh）的周期数为8。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董茂进，王多书，熊玉卿，张玲，王济洲，李晨，王超，高欢，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：