一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法制造方法及图纸

一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型相同，空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动的调制移动光栅和解调移动光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制移动光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调移动光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明专利技术可以提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种超分辨移动光栅共焦成像装置，包括激光光源（1），其特征在于：沿激光光源（1）光线传播方向依次放置准直扩束器（2）、聚焦物镜（3）、样品（4）、调制移动光栅（5）、第一收集物镜（6）、第二收集物镜（7）、解调移动光栅（8）、针孔（9）、光强探测器（10）以及信号处理装置（11）；所述的调制移动光栅（5）和解调移动光栅（8）的光栅类型相同，空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动；所述的信号处理装置（11）具有滤波或对时间积分的功能。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邹丽敏，王宝凯，陈彦均，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：