【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光栅检测领域，具体涉及一种光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置。
技术介绍
绝对编码数据刻划的光栅尺尺板绝对码道是由几万条不等宽度、不等间距的刻线组成，绝对码道的每一条刻线独立进行光电转换，参与形成绝对测量数据，刻线的定位精度、宽度、复制缺欠都会影响到绝对测量的正确与否。现有的码道刻线检测方法多针对相对码道刻线，无法检测绝对码道或采用接触式测量，接触式检测测量设备通常的结构为移动滑台上在导轨上移动，测头安装在移动滑台上与被测光栅尺尺板接触，由于接触部分存在摩擦力和应力形变，导致检测结果不准。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置，该装置解决现在没有能够有效对绝对式码道进行非接触式测量的问题，提高了测量的精度。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案如下光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置，该装置包括工作台、滑台、丝杠、平行光管、反射镜、计算机、光电读数头、光栅尺尺板、第一基准光栅尺和第二基准光栅尺；光栅尺的尺板位于工作台水平面，第一基准光栅尺和第二基准光栅...
【技术保护点】
光栅尺尺板绝对码道刻线精度的非接触式自动检测装置，其特征在于，该装置包括：工作台、滑台、丝杠、平行光管、反射镜、计算机、光电读数头、光栅尺、第一基准光栅尺和第二基准光栅尺；所述光栅尺的尺板位于工作台水平面，第一基准光栅尺和第二基准光栅尺位于工作台两侧，与光栅尺尺板平行；平行光管位于工作台的一侧，丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；反射镜固定在滑台上，光电读数头固定在滑台的一侧，光栅尺读数头固定在滑台内，计算机与丝杠和光电读数头连接；光电读数头包括：LED光源、准直物镜、第一分光棱镜、第二分光棱镜、CCD相机和光电探测器；L...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王潇洵，谭向全，黄剑波，马俊林，孙强，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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